[发明专利]具有肖特基二极管的半导体器件及其制造方法在审
申请号: | 202010116663.5 | 申请日: | 2020-02-25 |
公开(公告)号: | CN115377207A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 张永杰;陈伟钿;周永昌;李浩南;孙倩 | 申请(专利权)人: | 飞锃半导体(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417;H01L27/06;H01L29/872;H01L21/329 |
代理公司: | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人: | 王媛 |
地址: | 201302 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了具有肖特基二极管的半导体器件及其制造方法。根据一实施例,半导体器件包括:基底,基底具有第一面和第二面;阱区;源区,源区位于阱区中;接触区,接触区与阱区和源区接触;肖特基区;以及源金属层,源金属层的第一部分与肖特基区接触形成肖特基二极管,在与第一面朝向第二面的方向相垂直的第一平面内,肖特基区被阱区和接触区包围。本发明还提供了制造半导体器件的方法。根据本发明的半导体器件开关速度快、芯片密度高、成本低。 | ||
搜索关键词: | 具有 肖特基 二极管 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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