[发明专利]一种原子气室及其制作方法在审
| 申请号： | 202010116706.X | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113371675A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 夏先海;王逸群;张宝顺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子气室的制作方法，该方法包括：在第一蓝宝石基板上形成具有第一通孔的第一键合层，且在第二蓝宝石基板上形成具有第二通孔的第二键合层，第一通孔和第二通孔一一对应；在第一通孔或第二通孔中放置填充材料；将第一键合层和第二键合层进行键合。本发明还公开了利用上述制作方法制作的原子气室。本发明解决了原子气室的材料与碱金属之间的消耗反应和缓冲气体渗漏高，从而导致原子气室的使用寿命减少的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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