[发明专利]冷热冲击测试装置及测试方法在审
| 申请号： | 202010116819.X | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113376048A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 张汝京;蒋小金;孙明圣 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/60 | 分类号： | G01N3/60;G01N3/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种冷热冲击测试装置及方法。该装置包括腔体、真空泵及驱动单元；真空泵与腔体相连通，用于使腔体在工作过程中保持真空；腔体包括冷冲击室、热冲击室及样品承载室，冷冲击室和热冲击室位于样品承载室的两侧；样品承载室内设置有用于承载测试样品的样品承载盘，驱动单元与样品承载盘相连接，用于驱动样品承载盘，以将测试样品送至冷冲击室和/或热冲击室进行冲击测试。采用本发明的冷热冲击测试装置可在真空环境下进行冷热冲击测试，有助于降低功率损耗，提高测试效率及设备产出率，降低生产成本。依本发明的冷热冲击测试装置进行的冷热冲击测试方法操作简单，有助于提高测试精度及效率。 | ||
| 搜索关键词： | 冷热 冲击 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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