[发明专利]MEMS麦克风器件的检测方法有效
| 申请号： | 202010116825.5 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111314838B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 代卫路;高冰玲 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R29/00 | 分类号： | H04R29/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS麦克风器件的检测方法，所述MEMS麦克风器件包括传声器结构，所述方法包括：在所述MEMS麦克风器件的背面贴附静电膜；将背面形成有所述静电膜的所述MEMS麦克风器件置于真空吸盘上进行检测；其中，所述静电膜与所述真空吸盘接触。上述MEMS麦克风器件的检测方法，在MEMS麦克风器件的背面形成静电膜，且将传统技术中扫描电镜的吸附载台由真空吸盘更换为静电吸盘，使得MEMS麦克风器件可以通过静电膜与静电吸盘形成静电吸附，可避免MEMS麦克风器件1因无法承受较大吸附而造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 器件 检测 方法 | ||
【主权项】：
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