[发明专利]一种用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法在审
| 申请号： | 202010119822.7 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111403594A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 王宏伟;黄启国 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/04;H01L41/338 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 邱晓锋 |
| 地址： | 100101 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法。该敏感元件包括带基底的压电小柱阵列，以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板；所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。该制备方法包括：沿着X方向切割压电材料片；沿着Y方向切割压电材料片，形成带基底的压电小柱阵列；在压电小柱阵列的上表面粘接金属板。利用该敏感元件，可进一步制作水声换能器。本发明将压电材料中填充的聚合物更换为空气，同时在其上表面盖金属板，能够有效提高机电耦合系数和接收灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制作 灵敏度 水声换能器 敏感 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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