[发明专利]基于电磁激励压阻检测的面内振动硅微谐振式压力传感器有效
| 申请号： | 202010121079.9 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111289155B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 赵立波;韩香广;李雪娇;王李;于明智;李支康;朱楠;杨萍;闫鑫;王淞立;赵玉龙;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L1/22 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 郭瑶 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于电磁激励压阻检测的面内振动硅微谐振式压力传感器，基于双H型谐振梁对称耦合设计，包括谐振器和压力敏感膜，谐振器通过锚点与压力敏感膜连接，谐振器包括谐振梁和耦合梁、拾振梁，压力敏感膜受压力载荷后带动锚点运动，锚点将变形传递到谐振梁上，改变谐振梁的内应力，从而使谐振梁的固有频率发生变化。两侧谐振梁上布置有激励线路，激励线路内部通有交流电，在永磁场中产生方向相反的洛伦兹力，完成谐振梁驱动。拾振梁布置在耦合梁内侧，当谐振器处于工作模态时候，谐振梁产生相对运动，耦合梁带动拾振梁产生变形，从而改变拾振梁上压敏电阻的内应力，则压敏电阻阻值随之改变，通过检测电阻信号完成谐振频率拾取。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电磁 激励 检测 振动 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
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