[发明专利]检查装置中的清洁方法和检查装置有效
| 申请号： | 202010121103.9 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111650405B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 中山博之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/04;G01R1/073;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查装置中的清洁方法和检查装置，不仅能够进行检查装置内的载置台的清洁、还能够进行探针的清洁。用于对形成于被检查体的被检查器件进行电气特性检查的检查装置中的清洁方法包括以下工序：搬送工序，将用于载置所述被检查体的载置台搬送到与具有在所述电气特性检查时同所述被检查器件接触的探针的探针卡相向的位置；接着为剥离准备工序，对所述探针卡与同该探针卡相向的所述载置台之间的空间进行排气、减压；异物剥离工序，向被减压后的所述空间导入气体，来使附着于所述载置台的表面和所述探针的异物剥离；以及异物排出工序，一边维持所述气体向所述空间的导入，一边对该空间进行排气来排出所述异物。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 中的 清洁 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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