[发明专利]超细气泡生成装置以及超细气泡生成方法有效
| 申请号： | 202010122214.1 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111617650B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 尾崎照夫;久保田雅彦;山田显季;今仲良行;柳内由美;有水博;石永博之 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B01F23/235 | 分类号： | B01F23/235;B01F23/2375;B01F35/93 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种超细气泡生成装置和超细气泡生成方法，其能够有效地生成高纯度的UFB。为此，通过在晶片形式的元件基板上设置壁、盖基板和电极盘来形成腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 气泡 生成 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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