[发明专利]一种可移动刀口模块及可变狭缝系统有效
| 申请号： | 202010125465.5 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN113311666B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 熊学文;刘屈武 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可移动刀口模块及可变狭缝系统，其应用于光刻工艺，所述可移动刀口模块包括第一定子单元、第一动子单元以及刀口组件，所述第一动子单元包括第一动子磁钢，所述刀口组件与所述第一动子磁钢连接；所述刀口组件被配置为，在所述第一定子单元和所述第一动子单元的驱动下，沿所述第一方向移动。如此配置，使得可移动刀口模块中运动线缆少，运动阻力小，动子质量轻，电机出力大，运动精度高，电机寿命长；装置结构紧凑，安装空间小，占用空间小，方便安装和拆卸；能够保证可变狭缝的运动与掩膜台的运动相匹配，保证曝光过程的顺利进行，实现了可变狭缝的高速和高加速运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移动 刀口 模块 可变 狭缝 系统 | ||
【主权项】：
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