[发明专利]一种悬空石墨烯结构的制备方法及由其得到的悬空石墨烯结构和应用在审
| 申请号： | 202010127240.3 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111320164A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 宋学锋;曾维军;王尧 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋;潘登 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种悬空石墨烯结构的制备方法及由其得到的悬空石墨烯结构和应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)对待处理膜片进行图案化处理，得到图案化区域和其余区域；其中，所述待处理膜片包括依次设置的牺牲层、石墨烯片层和电子束胶层；所述图案化处理包括将石墨烯片部分区域裸露；(2)依次除去所述其余区域和牺牲层，然后将图案化区域转移至衬底上，得到所述悬空石墨烯结构。本发明提供的制备方法不涉及腐蚀性液体，操作过程简单，易于进行石墨烯的转移和组装。本发明提供的制备方法可以实现不同形状以及不同尺寸的石墨烯材料的悬空结构的制备，也可以用于任意衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬空 石墨 结构 制备 方法 得到 应用 | ||
【主权项】：
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