[发明专利]用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置在审
| 申请号： | 202010127449.X | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111304742A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 刘银;南琦 | 申请（专利权）人： | 木昇半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B28/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 姚姣阳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，与常规MO源罐阀组单元面板相匹配，面板上设置有载气进气端母头及载气出气端母头，装置包括两组相互连通的管路组件，每组管路组件中均包括一个隔膜阀、两个连接母头以及一个连接公头，其中一组管路组件中的连接公头与载气进气端母头相连接，另一组管路组件中的连接公头与载气出气端母头相连接，每组管路组件中的两个连接母头均与一MO源瓶管路连接。本发明可直接安装于现有设备上，无需对原MO源罐阀组单元面板做任何改动，更换和安装过程十分便捷其快速，在最大限度上为设备的安装调试提供了便利、保障了整体的氮化镓外延片制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mocvd mo 串行 装置 | ||
【主权项】：
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