[发明专利]控制直写式曝光机软件升级的方法、控制单元和曝光机在审
申请号: | 202010128774.8 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN111399869A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 张玉喆 | 申请(专利权)人: | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
主分类号: | G06F8/65 | 分类号: | G06F8/65;G05B19/05 |
代理公司: | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人: | 贾玉姣 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提出了一种控制直写式曝光机软件升级的方法、存储介质、核心控制单元和直写式曝光机,该方法包括:至少一个核心控制单元响应于更新启动指令,擦除升级程序存储区的数据;核心控制单元通过传输接口获取到更新程序数据,并将更新程序数据写入升级程序存储区;核心控制单元产生自启动使能信号,以重新加载升级程序存储区的程序。本发明的控制直写式曝光机软件升级的方法,通过核心控制单元的传输接口将更新程序数据传输至升级程序存储区,实现曝光机软件升级,且无需拆机,避免了人员接触核心控制单元,保证曝光机内部环境的安全,也无需使用专用烧录器,提高了曝光机软件升级维护的便利性。 | ||
搜索关键词: | 控制 直写式 曝光 软件 升级 方法 单元 | ||
【主权项】:
暂无信息
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