[发明专利]固晶摆臂系统及固晶机有效
| 申请号： | 202010129215.9 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111312651B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 胡新荣 | 申请（专利权）人： | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 汪海琴 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种固晶摆臂系统，包括摆臂、吸嘴组件、预压组件、感应组件及控制系统；吸嘴组件滑动设于摆臂一端并用于吸取晶片，预压组件用于对吸嘴组件施压一预设压力，感应组件用于感应吸嘴组件的受力状态，并在晶片对吸嘴组件的反弹力大于预设压力时将这一状态信息反馈至控制系统，控制系统根据状态信息调节摆臂及预压组件工作。本申请还提供了一种固晶机，包括上述固晶摆臂系统。本申请提供的固晶摆臂系统，在摆臂下降时，可实时调节摆臂下降高度以及预设压力，从而提高了固晶精度，提高了固晶效率，且避免晶片和吸嘴损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 固晶摆臂 系统 固晶机 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
