[发明专利]一种平整度检测方法、装置、找平系统及存储介质有效
| 申请号： | 202010129532.0 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN113324497B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 薛洁;胡晓栋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 王立娜;汤陈龙 |
| 地址： | 300380 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种平整度检测方法、装置、找平系统及存储介质，该方法包括：确定已有采样点的数量小于目标数量的第一曝光区域；从所述第一曝光区域的相邻曝光区域中确定第二曝光区域，所述第一曝光区域与所述第二曝光区域的采样点数量的和，不小于所述目标数量；从所述第二曝光区域的采样点中，确定为所述第一曝光区域补充的补充采样点，所述补充采样点的数量与所述已有采样点的数量的和，等同于所述目标数量；根据所述已有采样点和所述补充采样点，检测所述第一曝光区域的平整度。本发明实施例可提升平整度检测结果的准确性，增加可检测平整度的曝光区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平整 检测 方法 装置 找平 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
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