[发明专利]一种曝光镜头能量标定方法及其标定装置有效
| 申请号： | 202010130243.2 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111273519B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 刘栋;张柯;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光镜头能量标定方法及其标定装置，所述标定方法为预先测量曝光镜头出光总功率和经收光镜头接收的光经光纤传导光功率的倍率LR；在对曝光镜头的进行镜头能量标定时，功率计测量收光镜头接收曝光镜头的光纤传导光功率LP′，并根据光纤传导光功率LP′和预先测量的出光总功率和光纤传导光功率的倍率LR计算曝光镜头曝光时的总功率LS′。本发明解决了直写式光刻机曝光镜头能量标定问题，操作简便，对于多镜头直写式光刻机，能有效简化机械结构，减低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 镜头 能量 标定 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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