[发明专利]晶圆支撑件、晶圆加工装置及晶圆加工方法

摘要

本发明涉及一种晶圆支撑件、晶圆加工装置及晶圆加工方法，晶圆支撑件包括柱体与支撑块。风管的口部排出的反应气体能均匀地流向到晶圆的整个表面上方，晶圆对应于支撑块的表面部位的气体量与晶圆的其它部位的气体量基本相同，进而晶圆对应于支撑块的表面部位沉积形成薄膜的厚度与其它部位基本相同，也就是能提高晶圆的边缘部位沉积厚度的均匀性，提高晶圆产品质量。此外，柱体的宽度相对减小，通过抽吸机构将炉体内对应于晶圆处的反应气体抽离的过程中，柱体的阻挡作用同样减弱，反应气体及时地被抽离出反应炉体，从而尽可能地避免反应气体停留在晶圆支撑件的区域发生反应产生副产物颗粒，且该副产物颗粒也容易被抽吸机构抽离出炉体。