[发明专利]自动更换吸嘴式固晶装置有效
| 申请号： | 202010136225.5 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111326472B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 胡新荣 | 申请（专利权）人： | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 徐汉华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种自动更换吸嘴式固晶装置，包括用于固晶的旋转摆臂装置和用于收取旋转摆臂装置上的吸嘴并向该旋转摆臂装置供收吸嘴的收供吸嘴装置；旋转摆臂装置包括旋转座、驱动旋转座水平旋转的旋转驱动器和安装于旋转座上的摆臂机构；摆臂机构包括气动拆装吸嘴的气动夹和支撑气动夹的支撑臂，支撑臂安装于旋转座上。本申请提供的自动更换吸嘴式固晶装置，设置气动夹和收供吸嘴装置，则可以通过气动控制气动夹，使吸嘴从气动夹中推出到收供吸嘴装置，实现自动拆卸吸嘴；收供吸嘴装置自动将吸嘴传送至气动夹，以使吸嘴插入气动夹，实现自动装载吸嘴，实现吸嘴自动更换，无需人工操作，效率高，并且可以及时更换吸嘴，保证固晶质量。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 更换 吸嘴式固晶 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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