[发明专利]一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法在审
| 申请号： | 202010137164.4 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111266586A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 魏海根;张真;张春;徐彬;吴勇 | 申请（专利权）人： | 合肥尚德新材料有限公司;安徽尚德科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/115 | 分类号： | B22F3/115;C22C21/00;C22F1/04;C23C14/34;B21J1/06;B21J5/00;B21C23/00;B21C29/00 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 杨润 |
| 地址： | 238072 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，该方法包括如下步骤：(1)熔炼：(2)等离子雾化沉积：将熔铸得到的初锭做阳极，以惰性气体等离子体做熔化和雾化介质，进行铝靶材的雾化沉积制备；(3)超塑性成形：采用在合金的半固态温度区间对雾化沉积锭进行超塑性成形；(4)热处理：采用均匀化、固溶、时效的热处理工艺，对靶材进行热处理，制得所述铝靶材。本发明通过初锭铸造，等离子雾化沉积，并结合随后的超塑性成形与热处理工序，来达到制备成分与组织均匀，这种方法所制备的含稀土元素铝合金靶材成分均匀，组织细小，能够满足显示屏制造、通信、电子等领域对铝合金稀土靶材日益增长的高品质要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 尺寸 致密 稀土 ito 铝靶材 方法 | ||
【主权项】：
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