[发明专利]真空蒸馍设备在审
| 申请号： | 202010137392.1 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111206232A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 陈珉;黎守新 | 申请（专利权）人： | 成都晶砂科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都百川兴盛知识产权代理有限公司 51297 | 代理人： | 王云春;夏晓明 |
| 地址： | 610041 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种真空蒸馍设备，包括真空室；蒸发源；第一晶振座；第一晶振；第一传感器；前反馈控制模块；基片；基片挡板；第一驱动装置；第二晶振座；第二晶振；第二传感器；后反馈控制模块；蒸发源挡板；第二驱动装置；总控制模块，用于将蒸发速率与预定蒸发速率比较得到第一比较结果并基于第一比较结果向前反馈控制模块发出控制第二驱动装置驱动蒸发源挡板沿与材料在气相时向第一晶振、基片流动的路径相交的轨迹往复移动和将该实际测量值与预定厚度值比较得到第二比较结果并基于第二比较结果向后反馈控制模块发出控制第一驱动装置驱动基片挡板的控制信号。它能监测蒸发源材料蒸发速率及沉积在基片上膜层厚度，精确控制沉积过程中膜层厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 蒸馍 设备 | ||
【主权项】：
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