[发明专利]一种被动调平结构的检平装置与方法在审
| 申请号： | 202010138021.5 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111272153A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;赵承伟;龚天诚;王长涛;张逸云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01C15/00 | 分类号： | G01C15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种被动调平结构的检平装置和方法，属于被动调平结构的技术领域。该装置包括用于产生相对位移的驱动模块、用于实现被动调平的调平模块、用作检测光源的光源模块、用于调平状态监测的检平模块以及用于信号采集与反馈控制的控制系统。该装置和方法通过准直激光入射到被动调平的反射板上，通过位置敏感探测器探测反射回来的光束，进而判断调平状态，有效的解决了被动调平结构的检平问题，具有实时、非接触和高精度检测等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 被动 结构 平装 方法 | ||
【主权项】：
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