[发明专利]一种MEMS麦克风封装基板的开盖方法有效
| 申请号： | 202010139325.3 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111405443B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 张成立;徐光龙;王强;黄礼树 | 申请（专利权）人： | 宁波华远电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 袁忠卫 |
| 地址： | 315403 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种MEMS麦克风封装基板的开盖方法，步骤：制备封装基板；在封装基板的上表面对应于开盖的位置进行不连续切割60～75％的圆；在封装基板的上表面贴上胶带；接着继续连同胶带切割剩余的未切割的圆；整个闭合圆切割完成后，撕掉胶带，带起切割下的废料，完成开盖。本发明制作工艺简单，操作方便，能有效避免开盖时废料掉入空腔内，确保空腔基板产品的开盖。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 封装 方法 | ||
【主权项】：
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