[发明专利]一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器在审
| 申请号： | 202010140441.7 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111272714A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 刘黎明;迟锋;易子川;王红航;杨健君 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学中山学院 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N27/12 |
| 代理公司： | 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 | 代理人： | 舒梦来 |
| 地址： | 528402 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，包括绝缘基底层，所述绝缘基底层的上方设置有带有孔洞的第一贵金属薄膜层，所述第一贵金属薄膜层的上方设置有金属氧化物层,所述金属氧化物层的上设置有第二贵金属薄膜层；与传统的测量金属氧化物水平方向的电阻相比，该基于光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器测量金属氧化物竖直方向的电阻变化，相对来说电阻变化更大，因此，该气体传感器具有结构简单、气体探测灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 谐振腔 原理 金属 氧化物 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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