[发明专利]一种隔热腔和老化测试设备有效
| 申请号： | 202010140794.7 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111289878B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 曹锐;邓标华;裴敬;杜建 | 申请（专利权）人： | 武汉精鸿电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 李佑宏 |
| 地址： | 430070 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体老化测试领域，公开了一种隔热腔，其特征在于：包括测试底板，测试底板上用于安装DUT，测试底板以下部分处于密封腔体内部，所述测试底板以下依次连接有测试核心板即ALPG板、ALPG散热器，所述测试底板与ALPG板之间设置有连接器防松脱结构，腔体结构可以充分保护测试系统核心器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隔热 老化 测试 设备 | ||
【主权项】：
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