[发明专利]一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构及加热方法在审
申请号: | 202010141806.8 | 申请日: | 2020-03-04 |
公开(公告)号: | CN111254493A | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 杨金海 | 申请(专利权)人: | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 王家蕾 |
地址: | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构及加热方法,顶板;顶部加热器,该顶部加热器平行设于顶板的下方,顶部加热器与顶板之间设有石墨电极;侧面加热器,该侧面加热器均匀分布于顶板四周的侧面,侧面加热器通过连接板与顶部加热器相连;底面加热器,设于侧面加热器的下方且与顶板平行设置。本发明结构合理、控温均匀,对比现有技术的加热方式,本发明采用六面加热,顶部加热+四周加热——底部加热,解决了温控难度大的问题,具备控温均匀、硅锭的铸锭效率提高的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 改进型 铸锭 加热 结构 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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