[发明专利]反应腔室有效
| 申请号： | 202010152523.3 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111321463B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 徐刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/14;C30B29/40;C30B29/48 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种反应腔室，包括：腔体，腔体与上盖通过绝缘部相连，且腔体与上盖形成内腔，上盖开设有与内腔连通的通孔；进气机构包括第一绝缘块、第二绝缘块、进气管和法兰盘，进气管的一端与法兰盘相连，第一绝缘块的至少部分处于通孔，且第一绝缘块背离内腔的一侧开设有容纳空间，第二绝缘块设置于容纳空间，法兰盘设置于容纳空间的开口，第二绝缘块开设有第二进气孔，进气管与第二进气孔连通，第一绝缘块开设有第一进气孔，第一进气孔的一端与第二进气孔连通，第一进气孔的另一端与内腔连通，在通孔的轴线方向上，第一进气孔的投影处于第二进气孔的投影之外。本方案解决现有的反应腔室内部容易发生意外打火的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010152523.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
