[发明专利]基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔及其制作方法在审
| 申请号： | 202010152756.3 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111397515A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 司文荣;虞益挺;傅晨钊;李浩勇;吴旭涛;陆启宇;黄华;王谢君;徐梦飞;黄昊;李秀广;梁基重;药炜;何宁辉;周秀;马飞越;陈川;刘昕;袁鹏 | 申请（专利权）人： | 国网上海市电力公司;西北工业大学;国网宁夏电力有限公司电力科学研究院;国网山西省电力公司;全球能源互联网研究院有限公司;西安茂荣电力设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B6/293 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 应小波 |
| 地址： | 200122 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔及其制作方法，包括梅花型光纤、引导孔、支撑框架、孔肩、干涉腔本体、敏感膜片、第一反射层和第二反射层；所述梅花型光纤包括中心光纤和环绕光纤；所述梅花型光纤固接在引导孔中并与第二反射层相连接，所述的中心光纤与第一反射层中心对准，所述的环绕光纤与第二反射层相连接，所述第二反射层设在引导孔底部和干涉腔本体构成的孔肩上，所述干涉腔本体设在引导孔的底部且与引导孔的中心同轴，所述敏感膜片制作在干涉腔本体的底部并与支撑框架连接，所述第一反射层设在敏感膜片上。与现有技术相比，本发明具有工艺流程少、加工难度低、结构设计灵活、制作成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 梅花 光纤 mems 光束 干涉 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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