[发明专利]以有机金属溶液为主的高分辨率图案化组合物

摘要

本发明涉及以有机金属溶液为主的高分辨率图案化组合物。已发现有机金属溶液可提供使用薄涂层的以高分辨率辐射为主的图案化。所述图案化可涉及辐照具有所选图案的经涂布表面和用显影剂使所述图案显影以形成经显影的图像。基于使用有机显影剂或水性酸或碱显影剂，所述可图案化涂层容易正型图案化或负型图案化。辐射敏感涂层可包含具有有机配体的金属氧/羟网状物。前体溶液可包含有机液体和金属多核氧‑羟阳离子，其具有含有金属碳键和/或金属羧酸盐键的有机配体。