[发明专利]传感器有效
| 申请号： | 202010160792.4 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN112444273B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 藤本明;富泽英之;汤泽亚希子;中村直文 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 张洁;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据一个实施方式，涉及的传感器包括基体、第1可动构造体以及第1固定构造体。所述第1可动构造体包括多个第1可动电极。多个第1可动电极与基体之间的沿着第1方向的距离可变，所述第1方向是从基体朝向多个第1可动电极的方向。从多个第1可动电极中的一个朝向多个第1可动电极中的另一个的方向沿着与第1方向交叉的第2方向。所述第1固定构造体包括多个第1固定电极。多个第1固定电极中的一个位于多个第1可动电极中的所述一个与多个第1可动电极中的所述另一个之间。多个第1可动电极中的所述一个的沿着第1方向的第1可动电极长度比多个第1固定电极中的所述一个的沿着第1方向的第1固定电极长度短。由此，提供具有高检测能力的传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 | ||
【主权项】：
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