[发明专利]压电式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202010161564.9 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111328005B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 段炼;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00;H04R17/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 齐则琳 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电式MEMS麦克风，包括具有腔体的基底、压电振膜、支撑梁和固定梁，所述支撑梁连接所述基底和固定梁，所述固定梁连接所述压电振膜，所述压电振膜包括多个膜片，每一膜片均由所述固定梁固定，每一膜片包括固定端和自由端，所述固定端与所述固定梁连接，所述自由端自固定端向两侧延伸并悬置于所述腔体上方。本发明提供的压电式MEMS麦克风，将任意给定形状的压电振膜的膜片的固定端固定，自固定端向两侧形成自由端，固定端由固定梁固定，自由端的长度相对变短，改善了所述膜片的机械强度，提高其结构的可靠性及膜片的谐振频率；同时有两处靠近固定端的地方可以产生电荷，可以叠加提升信号的输出强度，提升灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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