[发明专利]一种用于扫描电镜样品仓的监控传感器

摘要

本发明公开了一种用于扫描电镜样品仓的监控传感器，涉及扫描电镜技术领域，包括摄像头模组、用于安装所述摄像头模组的法兰盘、用于所述摄像头模组后端密封的罩盖、以及连接所述摄像头模组的连接线；所述摄像头模组由控制板和固定于所述控制板上的镜头组成，所述镜头用于图像采集，所述控制板用于图像处理、图像控制和通信，所述连接线连接所述控制板输出接口；所述法兰盘固定于样品仓壳体上。本发明在高真空环境下运行且性能稳定，实现样品仓状态的实时监控，用于辅助样品的快速定位；与传统监控传感器相比，具有体积小、重量轻、结构简单、安装方便、性能可靠等优点。