[发明专利]一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置

摘要

本发明公开了一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，属于太阳能电池片制备技术领域，一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，通过酸洗箱与腐蚀酸制备箱的配合，可事先对氢氟酸溶液进行分散处理并进行存储，当装有硅片的清洗篮置于清洗槽后，通过固定机构对清洗篮进行固定，密封板对酸洗箱进行密封，再将腐蚀酸制备箱内的氢氟酸溶液导入其内，在放置硅片时，技术人员不会接触到氢氟酸溶液，起到保护作用，在进行酸洗时，清洗篮随旋转电机进行旋转，易于提高氢氟酸溶液对硅片的酸洗冲击力，从而有利于提高对硅片上的磷硅玻璃去除效率，且在酸洗过程中将反应产生的气态四氟化硅导入至气体过滤池内，易于对有毒气体进行处理。