[发明专利]一种等离子清洗装置有效
| 申请号： | 202010162985.3 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111299253B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 徐俊成;尹影;江伟;庞浩 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B01D50/00;B03C3/017 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 刘林涛 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路制造技术领域，具体涉及一种等离子清洗装置。其包括清洗腔室，和与所述清洗腔室连通的气源装置，所述气源装置向所述清洗腔室内通入洁净气体，使所述清洗腔室处于正压状态，避免外部环境污染物进入到所述清洗腔室内，实现清洗腔室内微环境控制，保持等离子工艺腔室内的洁净度等级，达到避免清洗件等离子清洗后二次污染，提高等离子清洗工艺效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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