[发明专利]一种石墨烯/二硒化钯/硅异质结自驱动光电探测器

摘要

本发明公开一种石墨烯/二硒化钯/硅异质结自驱动光电探测器，应用于光电探测技术领域，针对现有的光电探测器受限于石墨烯的弱吸光性能，响应度低的问题，本发明首先在n型二氧化硅/硅基底上干法刻蚀暴露出n型硅窗口；然后在硅窗口附近镀上金/铟电极，其次采用机械剥离制备二硒化钯微晶片，并利用定位干法转移二硒化钯于硅窗口；最后采用湿法转移的方式转移石墨烯，覆盖于二硒化钯与电极表面，其中二硒化钯作为石墨烯与硅之间的界面修饰层，单个硅窗口对应的石墨烯层、二硒化钯层、n型硅基底形成石墨烯/二硒化钯/硅异质结；本发明的器件制备工艺简单，且器件具有自驱动性，在可见‑近红外光波段具有较高的响应度等优良的性能。