[发明专利]透射电子显微镜样品和样品杆的预处理装置有效
| 申请号： | 202010166080.3 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN111293020B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 唐旭;卢岳;李秋立;陈艳辉;谷立新;李金华;郭振玺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京瀚仁知识产权代理事务所(普通合伙) 11482 | 代理人： | 宋宝库;白改芳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及透射电子显微镜的配件技术领域，具体涉及一种透射电子显微镜样品和样品杆的预处理装置，该装置包括：等离子清洗模块，其用于对TEM样品进行等离子清洗；真空存储模块，其用于对TEM样品和/或样品杆进行真空存储；真空泵组和控制模块，所述控制模块用于控制所述真空泵组与所述等离子清洗模块和/或所述真空存储模块连通；其中，所述等离子清洗模块的清洗室连接连接有冷阱，所述冷阱的制冷方式为液氮冷却，以便通过冷指传输的方式加快所述清洗腔达到目标真空度的速度。本发明的装置通过一套真空泵组实现了两种预处理，省略了在不同的设备独立处理两种预处理时包含的过多转移步骤，从而降低了样品在转移期间发生掉落的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 电子显微镜 样品 预处理 装置 | ||
【主权项】：
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