[发明专利]特种气体中杂质的质谱检测分析装置及其方法在审
| 申请号： | 202010166216.0 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN111239317A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 朱颜;王陆平;王仕华;孙建 | 申请（专利权）人： | 全椒南大光电材料有限公司;江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/88 | 分类号： | G01N30/88;G01N30/32 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 239514 安徽省滁州市全椒*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及特种气体中杂质的质谱检测分析装置及方法，包括依次串接的高压减压调控单元、减压进样单元、高真空调压单元，高压减压调控单元包含减压阀以及与其串接的压力控制器，减压阀的进口连接至样品瓶，压力控制器的出口与减压进样单元串接；高真空调压单元包含以并联方式设置的调压部件一、调压部件二，调压部件一和调压部件二的进口分别与减压进样单元的出口连接，调压部件一的出口与四级杆质谱仪串接，四级杆质谱仪连接质谱工作高真空系统；质谱工作高真空系统包含分子泵以及与其串接的前级泵，分子泵的进口与四级杆质谱仪串接；调压部件二的出口与前级泵连接。可针对磷烷砷烷等剧毒气体中1～200amu杂质进行全谱分析检测。 | ||
| 搜索关键词： | 特种 气体 杂质 检测 分析 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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