[发明专利]一种旋转台有效
| 申请号： | 202010166302.1 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN111285031B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李生强;王理华 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G29/00 | 分类号： | B65G29/00;B65G47/80 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201703 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转台，涉及机械设备技术领域。该旋转台包括底座、载台组件和驱动机构，还包括气浮支撑机构和气浮导向机构，所述气浮导向机构包括：导套组件，所述导套组件安装在所述底座上；导轴组件，所述导轴组件的一端与所述载台组件相连，所述导轴组件的另一端穿过所述导套组件并通过所述气浮支撑机构的支撑气膜支撑于所述底座上，所述导轴组件与所述导套组件之间形成导向气膜，所述驱动机构驱动所述导轴组件相对所述导套组件旋转。该旋转台能进行无接触的旋转运动而没摩擦，能进行整周旋转来满足大行程旋转要求，精度高，运动可靠，使用灵活，调试方便，系统更可控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 | ||
【主权项】：
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