[发明专利]用于半导体封装件的Cu表面上的多孔Cu有效

专利信息
申请号: 202010166747.X 申请日: 2020-03-11
公开(公告)号: CN111696956B 公开(公告)日: 2023-10-13
发明(设计)人: N·皮尔迈尔;赖庆勇;李瑞家;M·穆罕默特萨努西;E·纳佩特施尼格;N·奥斯曼;盛秀清 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L23/528 分类号: H01L23/528;H01L23/532;H01L21/56;H01L21/768;H01L23/31;H01L23/48
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 邬少俊
地址: 德国瑙伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明公开了一种半导体封装件,其包括多个金属引线和通过互连附接到多个金属引线的半导体管芯。多个金属引线的表面、半导体管芯的金属化表面和/或互连的表面包括Cu,并且具有在340至400W/mK范围内的热导率以及在80%至110%IACS范围内的电导率。包括Cu并且具有在340至400W/mK范围内的热导率以及在80%至110%IACS范围内的电导率的一个或多个所述表面还包括具有在1μm至10μm范围内的直径的微孔。还描述了一种制造具有这种微孔的金属表面的方法。
搜索关键词: 用于 半导体 封装 cu 表面上 多孔
【主权项】:
暂无信息
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