[发明专利]用于晶带轴对准的方法和系统在审
| 申请号： | 202010168410.2 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN111693553A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 钟祯新 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/20058;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于晶带轴对准的方法和系统。提供了用于将样品的晶带轴与入射束对准的方法和系统。作为一个实例，所述对准可基于晶带轴倾斜。所述晶带轴倾斜可基于在所述衍射图案中直射束和零阶劳厄带的位置来确定。所述直射束位置可基于以不同入射角获得的衍射图案来确定。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶带轴 对准 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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