[发明专利]带电粒子束装置在审
申请号: | 202010170496.2 | 申请日: | 2020-03-12 |
公开(公告)号: | CN111696842A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 村上雄大;根本佳和 | 申请(专利权)人: | 日本电子株式会社 |
主分类号: | H01J37/28 | 分类号: | H01J37/28;H01J37/22 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝;刘宁军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种带电粒子束装置,其中,拍摄器(30)对由试样载台(20)保持的试样保持器(22)进行拍摄。在拍摄器(30)的前方(对象物侧)设置有发光器阵列(32)和掩模阵列(34)。由发光器阵列(32)产生多个光束。多个光束的多个中央部分被掩模阵列(34)遮掩。由此产生的多个阴影被多个光束的多个周边部分覆盖。 | ||
搜索关键词: | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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