[发明专利]一种基于CVD/CVI双工艺的纤维增强复合材料沉积炉在审

专利信息
申请号: 202010171987.9 申请日: 2020-03-12
公开(公告)号: CN111235548A 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 张松;郑丽丽;张辉 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 罗文群
地址: 100084*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种基于CVD/CVI双工艺的纤维增强复合材料沉积炉,属于复合材料制备设备技术领域。炉体包括上方炉膛与下方炉膛,上方炉膛可实现CVD工艺沉积过程,下方炉膛可实现CVI工艺沉积过程。在多孔纤维预制体的沉积初期,通过控制样品底部温度远高于顶部温度,采用CVI工艺,使进气从下方炉膛流出,优先沉积样品下部。当下部沉积增密结束后,逐步减小垂直管路的通气量,转为CVD工艺,通过原料气扩散进入导流板和样品,进而完成对样品上部分的沉积过程。通过不同炉膛加热器温度的控制,以及不同流向气流分布比例,实现对样品沉积速度与沉积位置的控制。
搜索关键词: 一种 基于 cvd cvi 双工 纤维 增强 复合材料 沉积
【主权项】:
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