[发明专利]一种基于CVD/CVI双工艺的纤维增强复合材料沉积炉在审
申请号: | 202010171987.9 | 申请日: | 2020-03-12 |
公开(公告)号: | CN111235548A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 张松;郑丽丽;张辉 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 罗文群 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于CVD/CVI双工艺的纤维增强复合材料沉积炉,属于复合材料制备设备技术领域。炉体包括上方炉膛与下方炉膛,上方炉膛可实现CVD工艺沉积过程,下方炉膛可实现CVI工艺沉积过程。在多孔纤维预制体的沉积初期,通过控制样品底部温度远高于顶部温度,采用CVI工艺,使进气从下方炉膛流出,优先沉积样品下部。当下部沉积增密结束后,逐步减小垂直管路的通气量,转为CVD工艺,通过原料气扩散进入导流板和样品,进而完成对样品上部分的沉积过程。通过不同炉膛加热器温度的控制,以及不同流向气流分布比例,实现对样品沉积速度与沉积位置的控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 cvd cvi 双工 纤维 增强 复合材料 沉积 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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