[发明专利]一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法在审

专利信息
申请号: 202010172817.2 申请日: 2020-03-12
公开(公告)号: CN111289778A 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 蔡潇;何希鹏;高玉巧;高和群;李辉;靳雅夕;夏威;程伟 申请(专利权)人: 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司华东油气分公司
主分类号: G01Q60/24 分类号: G01Q60/24;G01Q30/20;G01Q30/02;G01N15/08;G01N1/32
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 王素琴
地址: 100000 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法。该方法包括样品抛光、扫描电镜成像、图像定位及原子力显微镜成像等过程。本发明设计了一套实验测试流程:首先根据实验测试条件,确定样品抛光模式。然后进行扫描电镜成像,通过局部构造或特殊矿物辅助,使用测距工具对目标方位进行准确测量。再将样品置于原子力显微镜中,根据扫描电镜中得到的目标平面位置信息,移动探针至目标区上方进行原子力显微镜成像。最终实现了页岩样品扫描电镜和原子力显微镜的原位观察。
搜索关键词: 一种 页岩 样品 扫描电镜 原子 显微镜 原位 观察 方法
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