[发明专利]一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置有效
| 申请号： | 202010172960.1 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111258340B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 宋源;卢启鹏;龚学鹏;王依;彭忠琦;徐彬豪;赵晨行 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01N33/00;B01L3/12 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置，包括污染气体储存罐、外加热层、温度控制器、气体压力传感器、流量计、污染气体发射管和发射管运动装置等，外加热层设置在污染气体储存罐的外壁，与温度控制器连接的气体压力传感器设置在流量计的进气端处；污染气体发射管包括金属喷射管和喷射头等，发射管运动装置带动喷射头在样品表面周期往复运动；温度控制器根据气体压力传感器实时反馈的压力数据控制外加热层的加热温度和加热时长，使流量计的进气端压强恒定。本发明可应用到EUV多层膜光学元件表面碳污染实验领域中，为实验提供流量稳定的大分子碳污染气体，具有供气稳定、流量均匀的特点，有效保证实验结果准确性，且易于分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流量 稳定 euv 污染 实验 气体 供气 装置 | ||
【主权项】：
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