[发明专利]一种微机械音叉陀螺在审
| 申请号： | 202010173873.8 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113390402A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 闫桂珍;赵前程 | 申请（专利权）人： | 北京微元时代科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100190 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械音叉陀螺，包括衬底、在衬底上固定陀螺可动结构的锚点、驱动框架、惯性质量块、敏感框架、连接驱动框架和惯性质量块的弹性梁、连接惯性质量块与敏感框架的弹性梁、连接敏感框架与锚点的弹性梁、连接驱动框架与锚点的弹性梁、连接驱动框架的弹性梁、检测电极和驱动电极；所述检测电极由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于陀螺可动结构的可动电极组成；所述驱动电极由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于陀螺可动结构的可动电极组成。本发明将可动结构锚点至于一条对称轴上，可抑制陀螺工作模态间的机械耦合使陀螺性能对环境温度变化和加工误差不敏感。本发明可以广泛应用于各领域中物体转动角速度的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 音叉 陀螺 | ||
【主权项】：
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