[发明专利]一种光线探测基板及其制备方法、光线探测设备

摘要

本发明提供一种光线探测基板及其制备方法、光线探测设备。该光线探测基板包括基底和设置在基底上的多个光线探测单元，光线探测单元排布呈阵列；光线探测单元包括第一电极、第二电极和光电转换层，光电转换层位于第一电极和第二电极的背离基底的一侧，光电转换层在基底上的正投影覆盖第一电极和第二电极，第一电极和第二电极在基底上的正投影之间具有间隔区，光电转换层上开设有开口，开口在基底上的正投影位于间隔区。该光线探测基板，通过使开口在基底上的正投影位于间隔区，即开口开设在光电转换层与第一电极和第二电极的非叠置区域，能够在通过刻蚀形成光电转换层以及开口的图形时，确保该光线探测基板的光电特性不会受到损害。