[发明专利]含银金属膜用蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 202010177581.1 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111690932A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 殷熙天;金益俊;陈闰泰;金希泰;金世训 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30;C23F1/02 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦;洪玉姬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供含银金属膜用蚀刻液组合物，包含硝酸、聚磺酸、有机酸及水。根据本发明的蚀刻液组合物包含硝酸、聚磺酸、有机酸及水，对于用作显示设备的反射板或配线的含银(Ag)或银合金金属膜，抑制下部膜受损，并且在形成微细配线时，能够最小化不良偏差及碎屑或析出物的出现，能够表现出优异的蚀刻特性。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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