[发明专利]一种检漏防护装置在审
申请号: | 202010182537.X | 申请日: | 2020-03-16 |
公开(公告)号: | CN111237580A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 俞杰;杨立华;缪敏敏;李炯;储勇;蒋坤 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | F16L55/168 | 分类号: | F16L55/168;F16L58/18;B08B15/02;B08B15/04;G01M3/14 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种检漏防护装置,所述检漏防护装置包括包裹单元以及连接单元,所述包裹单元包括第一部分以及第二部分,所述第一部分用于包裹一管路的管路接口,所述第二部分用于包裹所述管路的管路本体,所述第一分部与所述第二部分沿所述管路的轴向密封连接,所述包裹单元沿所述管路的周向至少包裹一周;所述包裹单元具有沿轴向贯通的连接缝,所述连接单元沿轴向可开合地设置于所述连接缝处。如此设置,通过包裹单元将管路进行包裹,再通过连接单元与包裹单元密封管路形成密闭的空间,防止在检漏过程中,干泵(Pump)开启后管路内的粉尘喷洒至清洁室(Clean room)中造成环境污染及人员的伤害。 | ||
搜索关键词: | 一种 检漏 防护 装置 | ||
【主权项】:
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