[发明专利]一种设置研磨时间上限和研磨时间下限的方法及装置有效
| 申请号： | 202010183587.X | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN111266990B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 杨松波;邓建宁;何亮亮 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B49/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种设置研磨时间上限和研磨时间下限的方法及装置，该方法包括获取第一预设数量个型号相同的晶圆分别对应的理想研磨时间；对理想研磨时间进行拟合，得到拟合函数；根据理想研磨时间对应的理想研磨时间区域，将拟合函数加上第一阈值作为研磨时间上限，将拟合函数减去第二阈值作为研磨时间下限，以使理想研磨时间区域的预设比例分布在研磨时间上限和研磨时间下限之间。将研磨时间上限和研磨时间下限均设置成动态的值而非固定值，相比于现有技术本方案可以使待生产的晶圆的实际研磨时间更大概率的分布在所述研磨时间上限和所述研磨时间下限之间，并且研磨时间上限和研磨时间下限之间的差值较小，从而提高了研磨工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设置 研磨 时间 上限 下限 方法 装置 | ||
【主权项】：
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