[发明专利]蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010183889.7 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113403586A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;轩景泉;钱海涛;赵军;刘萍 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚和盖板，所述坩埚的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽，相邻两个所述收容槽之间设置有加热槽，所述加热槽设置于所述坩埚的外部，所述收容槽的外表面和所述加热槽均设置有加热件；盖板，所述盖板盖设于所述坩埚上，所述盖板设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部。本申请提供的蒸镀装置通过在坩埚的外部设置加热槽，加热槽设置于相邻两个收容槽之间，且收容槽的外表面和加热槽均设置有加热件，如此可以提高每个收容槽内蒸镀材料的加热效率，从而可以提高蒸镀效率和蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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