[发明专利]一种抛光盘冷却结构、抛光盘以及抛光机有效
| 申请号： | 202010185005.1 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN111230741B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王腾;阴俊沛;蒲以松 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02;B24B37/26;B24B27/00;B24B37/08;B24B47/12 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光盘冷却结构、抛光盘以及抛光机，所述抛光盘冷却结构包括：转轴，所述转轴的内部中空；插设于所述转轴内部的中空管，所述中空管的内部形成为进水通道，所述中空管的外壁与所述转轴的内壁之间的空腔形成为出水通道；呈上下设置的上冷却盘和下冷却盘，所述上冷却盘的内部空腔与所述出水通道连通，所述下冷却盘的内部空腔与所述进水通道连通；与上冷却盘的底面进水孔的数量相同的若干三通管，用于连通上冷却盘和下冷却盘。根据本发明实施例的抛光盘冷却结构，通过分流的三通管将冷却水在离心力的作用下迅速分流到上、下冷却盘，实现冷却水的快速循环，从而对研磨盘的温度进行有效控制，确保抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 冷却 结构 以及 抛光机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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