[发明专利]一种离子束法制备的金属过滤膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种离子束法制备的金属过滤膜及其制备方法，该方法包含：步骤1，采用超高真空离子束溅射设备，调整溅射室的真空度，选择衬底，并在溅射前对衬底进行处理；步骤2，将晾干后的衬底放入生长室内，控制氩气流量，并调整溅射室真空度；步骤3，调整电子枪束流电压，控制生长温度、生长束流、沉积时间，制备金属薄膜。该金属过滤膜采用的金属靶材为铜、铝、铬、镍、钛中的任意一种或多种金属。本发明制备的金属膜具有结构致密，均匀，过滤精度高等特点，可用于空气净化器、净水器等设备过滤膜，除去空气PM2.5，水中的重金属、细菌及病毒等杂质，保护人体健康。